一、按 ?? 工藝類型 分類

工藝類型適用場景典型溫度真空度要求

真空燒結粉末冶金、硬質合金、陶瓷致密化1000~1800℃10?1~10?3 Pa

真空退火金屬消除內應力、軟化400~1200℃10?1~10?2 Pa

真空淬火鋼件、鈦合金表面硬化800~1100℃10?1~10?2 Pa

真空釬焊航空發動機葉片、散熱器、電子封裝800~1200℃10?2~10?3 Pa

真空熱處理不銹鋼固溶、時效、滲碳（真空滲碳）800~1300℃10?1~10?2 Pa

真空脫脂MIM注射成型件脫除粘結劑300~600℃10?1 Pa

真空熔煉（小批量）活性金屬（Ti、Zr）熔煉、合金配制1000~2000℃10?2~10?3 Pa

氣氛燒結通N?/Ar/H?的可控氣氛燒結800~1800℃可通氣氛

CVD/PVD前驅處理薄膜沉積前的基底預處理400~1000℃10?3 Pa

二、按 ?? 材料類型 分類

? 金屬與合金

材料典型應用為什么必須用真空？

鈦及鈦合金航空航天結構件退火/時效Ti在400℃以上極易氧化，真空是選擇

鎢/鉬/鉭等難熔金屬絲材退火、板材再結晶高溫下極易氧化，必須真空保護

不銹鋼/高溫合金固溶處理、時效強化真空防止表面增碳/脫碳，保持表面光潔

銅/銅合金釬焊、退火真空防止氧化變色，保證焊接質量

貴金屬（Au/Ag/Pt）首飾燒結、電子漿料防止氧化、保證純度

活性金屬（Zr/Hf/Nb）熔煉、燒結化學活性強，空氣中瞬間氧化

MIM注射成型件脫脂+燒結一體化先真空脫脂，再真空燒結

? 陶瓷與耐火材料

材料典型應用為什么必須用真空？

氧化鋁（Al?O?）透明陶瓷燒結、刀具基體真空促進致密化，消除氣孔

氧化鋯（ZrO?）牙科烤瓷、結構陶瓷防止碳污染變色，保持白色

氮化硅（Si?N?）軸承球、發動機部件真空燒結是主流工藝

碳化硅（SiC）高溫結構件、半導體真空防止SiC氧化分解

氮化硼（BN）耐高溫潤滑材料真空防止BN氧化

透明陶瓷（YAG/鎂鋁尖晶石）激光窗口、裝甲真空燒結是獲得高透過率的關鍵

? 粉末冶金 & 硬質合金

材料典型應用為什么必須用真空？

WC-Co 硬質合金刀具、模具、礦用鉆頭真空燒結使Co充分潤濕WC，獲得高致密度

鐵基/銅基粉末件齒輪、軸承、含油軸承真空燒結+滲油，獲得高精度零件

不銹鋼粉末件過濾器、多孔材料真空防止表面氧化，保證孔隙連通

金屬注射成型（MIM）手機卡托、零件脫脂+燒結一體化，尺寸精度高

? 新能源材料

材料典型應用為什么必須用真空？

鋰電池正極材料（NCM/LFP）高溫固相合成真空防止Li?CO?分解異常，控制氧含量

負極材料（石墨/硅碳）石墨化處理（2500~3000℃）真空防止石墨氧化，提高結晶度

固態電解質（LLZO/LPS）燒結致密化真空防止Li揮發，保持化學計量比

光伏硅片退火、擴散真空防止表面污染

? 電子與半導體

材料典型應用為什么必須用真空？

ITO靶材濺射鍍膜用靶材真空燒結保證高致密度、高純度

MLCC陶瓷電容BaTiO?基陶瓷燒結真空防止還原變色，保證介電性能

壓電陶瓷（PZT）傳感器、超聲換能器真空燒結控制氧空位，優化壓電系數

磁性材料（鐵氧體/釹鐵硼）永磁體燒結真空防止Nd氧化，保證磁性能

銀漿/銅漿燒結太陽能電池電極、功率器件真空低溫燒結，防止金屬氧化

? 復合材料 & 特殊材料

材料典型應用

C/C復合材料航空剎車片，真空石墨化處理

C/SiC復合材料航天防熱結構，CVI前驅體熱解

金剛石燒結刀具、鉆頭，高溫高壓+真空

玻璃/玻璃陶瓷封接玻璃真空燒結，防止氣泡

牙科烤瓷/全瓷冠真空燒結保證色澤和強度

三、按 ?? 行業領域 分類

行業核心應用代表企業/機構

??? 航空航天鈦合金退火、高溫合金時效、葉片釬焊、C/C復合材料處理航發集團、西飛、成飛

?? 新能源/電池正負極材料燒結、固態電解質致密化、石墨化寧德時代、比亞迪、國軒高科

?? 半導體/電子靶材燒結、MLCC陶瓷、銀漿燒結、磁性材料三環集團、風華高科、TDK

?? 醫療/牙科氧化鋯全瓷冠、金屬烤瓷冠、種植體熱處理愛爾創、滬鴿口腔

?? 粉末冶金/硬質合金WC-Co燒結、MIM脫脂燒結、銅基含油軸承株洲硬質合金、有研粉材

??? 陶瓷/耐火材料透明陶瓷、結構陶瓷、耐火磚燒結山東工陶、中材高新

?? 高校/科研院所新材料開發、基礎研究、小批量試制中科院各所、985/211高校材料學院

?? 光伏/太陽能硅片退火、銀漿燒結隆基、通威

?? 化工/催化催化劑焙燒、活性炭活化各大化企研發中心

四、按 ?? 規模/批量 分類

規模適用情況典型爐膛尺寸

實驗室/研發小批量試制、配方摸索、論文實驗1~10L（100×100×100mm ~ 300×300×300mm）

中試/小批量生產樣品驗證、小批量供貨10~50L（400×400×400mm）

批量生產連續化生產（需選連續式真空爐）50L以上（非標定制）

?? 真空箱式爐適合實驗室和小批量生產，大批量連續生產建議選真空推板爐/網帶爐/回轉爐。

五、? 不適用的場景（避坑指南）

場景為什么不適用替代方案

? 需要大氣壓下氧化的工藝（如發藍處理）真空環境無法提供O?選普通氣氛馬弗爐

? 超大批量連續生產（萬件/天）箱式爐開門裝料，效率低選連續式真空爐（推板/網帶）

? 超高溫（＞2000℃）箱式爐一般上限1800℃選真空感應爐/電弧爐

? 超大工件（＞500mm）爐膛尺寸受限選大型真空室式爐

? 需要快速淬火冷卻箱式爐自然冷卻慢選真空油淬爐/氣淬爐