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更新時間:2026-05-19
瀏覽次數:1111200℃惰性氣體實驗爐是一種在1200℃高溫下,通過充入氮氣、氬氣等惰性氣體保護樣品,防止其氧化的實驗室設備。常用于材料燒結、退火、CVD 實驗等。
核心技術參數
溫度范圍:室溫~1200℃(長期建議≤1150℃)
控溫精度:±1℃,溫場均勻性 ±3~5℃
升溫速率:5~20℃/min(可編程控制)
氣氛系統:支持 N?、Ar 等惰性氣體,流量可控
真空度:標配可達 10?2 Pa(根據型號)
加熱元件:鐵鉻鋁電阻絲、硅碳棒或硅鉬棒
爐膛材料:氧化鋁 / 多晶莫來石纖維(耐高溫、低熱容)
主要結構組成
爐體:雙層風冷結構,外殼溫度低,安全節能。
加熱系統:根據型號配置電阻絲或硅鉬棒,提供穩定熱源。
氣氛 / 真空系統:由真空泵、密封法蘭、氣體流量計等組成,用于置換爐內空氣并維持惰性氣氛。
溫控系統:高精度 PID 可編程儀表,可設置復雜的升溫、保溫、降溫曲線。
主要用途
材料科學:金屬、陶瓷、半導體、納米材料的燒結、退火、回火。
新能源:鋰電池正極材料(如磷酸鐵鋰)煅燒、太陽能電池材料制備。
電子工業:硅晶圓退火、電子陶瓷共燒、元件鍍膜。
化工催化:催化劑煅燒、分子篩制備、氣相沉積(CVD)實驗。
常見類型
箱式爐:也稱馬弗爐,爐膛空間大,適合塊狀、批量樣品處理。
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